КорзинаКорзина

Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология

Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология
Издательство: Наука
Год выпуска: 2018
ISBN: 978-5-02-040089-4
Наличие: Ограниченное количество
854 р.
Купить Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технологиякупить

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Печатное издание имеет сертификаты качества и безопасности и соответствует нормам санитарной гигиены. Гарантийное обязательство также прилагается. Действует дисконтная накопительная система, а также корпоративная скидка 10% на заказ от 20 шт. На странице офомления заказа будет отражена более точная информация о стоимости доставки в ваш регион и о вашей личной скидке.

Книжный раздел

Позвольте Вам предложить