Либранта
Автор Родионов Юрий Анатольевич
В результате поиска найдено 4 товара
Сортировка по: названию 
наличию 
цене
-
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения…
-
Основы микросенсорики. Учебное пособие
Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики…
-
Производство гибридных интегральных схем. Учебное пособие
Рассмотрены особенности изготовления гибридных интегральных схем: диэлектрическая подложка на основе низкотемпературной керамики, подвесные активные элементы, толстоплёночные пассивные элементы. Уделено внимание технологии…
-
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в…